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光伏新能源净化车间设计、施工方案详述
作者:福建永科 来源:永科净化 发布时间:2018/3/11 浏览:3666次

光伏新能源净化车间设计、施工方案详述

千级净化车间

    普通大众对光伏新能源只是知道名词,却没有深入了解该产品的特征及功能,本文主要是从其生产过程对光伏新能源作一个简单的阐述,光伏新能源是以硅晶片为主要材料的一种新型能源方式,硅晶片是由硅材料加工而成的,制作成镜面状态,外表成光亮的圆片,是生产半导体集成电路芯片的关键材料,现在社会微电子产业发展迅猛,集成电路技术也日新月异,已经将体积缩小到0.18微米以下的时代,集成电路技术的发展也极大的刺激了光伏新能源硅晶片行业技术的发展,硅晶片的生产要求极为严格,在环境稍有变动的情况下,硅晶片的成品率将极大程度的下降,硅晶片的生产必须要在无尘净化车间内进行,该无尘净化车间为恒温恒湿的空间,无尘室内的空气也需要通过净化组合式空调机组进行空气处理后送入,下文笔者将通过以往的设计和施工经验对光伏新能源无尘净化车间的设计和施工进行详细的阐述,希望对光伏新能源硅晶片和无尘净化车间空气净化工程的两类从业人员在技术和认知上得到提升。

1、光伏新能源硅晶片生产工艺设定

    光伏新能源硅晶片的生产主要包括硅单晶棒和硅晶片的生产两大主流,但都可以细分为一下几道工序:单晶棒成长-裁切和检测-外径消磨-单晶切片-平面研磨-研磨检测-蚀刻(主要为化学蚀刻、LP-VCD+AP-CVD等手段)-PTA热面处理-PTA背面损伤处理-抛光-洗净-品质检测-无尘包装,上述12道工序内,绝大部分是需要在无尘净化车间内进行,可见空气净化技术在光伏新能源上至关重要,在生产过程中每道工序对净化车间的洁净度和温度、湿度又有不同的要求。

2、无尘净化车间空调系统在各道生产工艺的作用

    光伏新能源硅晶片的生产各道工序均对环境的空气有所要求,一下为国家电子行业经过多年的研究和调研所作的硅晶片生产环境空气要求规定,后续以福建省厦门市某单晶片生产企业无尘净化车间的设计和建设方案作为案例来详细说明净化空调系统在生产过程中每道工艺的重要性。

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2.1切片室、倒角室、研磨片室、炉室、BSD室的普通空调要求

    这三道工序生产过程中仅对室内温度控制有较严格的要求,本案列设置一个风冷冷热水热泵机组(PAC)来保证车间的温度需求,室外机放置在厂房屋顶,室内空调处理柜机设置在就近净化空调专业机房内,为使生产车间内空气温度均匀,采用侧送风的方式,送风高度高于工作面50cm。切片室的产尘量较大,设定为大排风量,采用一台屋顶式直接蒸发冷凝新风机组进行温度调节,利用大能效比,可在全新风的情况下,又起到节能的作用,该车间也有防尘的要求,在回风口的位置设置 中效过滤器,保护设备不受影响。

2.2磨片检查室的普通空调要求

    这道工序除了对温度有要求外,对湿度也有严格的要求,采用电加热来控制湿度,送风口为方形散流器顶送方式,相对湿度采用新风来保证,空调系统设置初效过滤器及中效过滤器。

2.3CP室、ML室空气净化等级要求

         这两道工序须在无尘净化车间内完成,净化等级为7级,即万级无尘车间,换气次数为30次,采用新风机组+循环机组+高效送风口的净化空调方式,其气流组织方式为:新风和回风经过粗效、中效、高效过滤,采用表冷器制冷,电加热升温、蒸气加湿的方式,通过处理后送至千级无尘净化车间。

2.4CP/CVD室、LP/CVD、洁净包装区工序室空气处理要求

    洁净包装区为6级净化等级的无尘净化车间,即为千级无尘净化车间,换气次数采用55次,千级无尘净化车间采用顶部高效送风口送风,房间侧下可开可调百叶回风口回风。

2.5万级、千级洁净无尘车间的净化装修

    净化装修才用玻镁夹心彩钢板作为吊顶材料,墙体采用岩棉夹心彩钢板,彩钢板厚度为50mm,转角采用50型专用净化铝材过渡;地面使用环氧自流平,需要保证平整度和光泽度,自流平的厚度必须要达到3mm后,在底层铺设防静电铜网导电。