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绝对无尘室(电子行业)
作者:福建永科 来源:永科净化 发布时间:2018/3/7 浏览:6999次

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洁净


    1. 是对空气质量、温度和湿度进行高度调节以保护敏感设备免受污染的工作区域。

    2. 是硅片、硬盘驱动器和纳米技术生产中的重要特征。

    3. 洁净室中的空气被反复过滤,以去除灰尘颗粒和其他可能损害高灵敏度技术生产的杂质。

    洁净室的等级为“10,000级”,在任何给定立方英尺的空气中存在不超过10,000个大于0.5微米的颗粒;“1000级”,其中存在不超过1000个粒子;和“100级”,其中存在不超过100个粒子。硬盘驱动器制造需要100级洁净室。在洁净的房间工作的人必须穿上特殊的防护服,叫做“兔子服”,这种防护服不会散发出棉绒颗粒,也不会阻止人的皮肤和头发颗粒进入房间的空气。

    物理和天文学洁净室是在D0内工作的高能实验组、凝聚态实验组和堪萨斯大学的共同支持下建造的。在项目中的角色是测试升级的敏感电子组件。从一个基于绿柱石陶瓷衬底的未填充(没有表面安装组件)电路开始,该混合电路被称为混合电路,测试其导通性和短路,然后装运出去填充电阻和电容。填充的杂种回到KU,在那里进行进一步的测试。在测试焊盘之间的电阻是否正确后,在为SVX4芯片安装出厂。

对于纳米技术项目,配备有制造微米至纳米尺度电子器件的能力。微加工设施位于100级洁净室和1000级洁净室。主要设备包括:深紫外掩模对准器、电子束蒸发仪、等离子刻蚀机、引线键合机、坐标测量机、探针台等。制造规定的特征尺寸在0.2 - 0.3微米的范围内。

    纳米制造在配备有用于电子束光刻的Nabity电子束光刻封装的扫描电子显微镜( SEM )中进行。已经证明器件特征尺寸为几纳米到几十纳米。同样的SEM也可以应用于对样品和制造的电子器件成像。空间分辨率小到3纳米。