无尘室（Clean Room），也称清净室，是污染控制的基础。为达到适当的微粒洁净度级别，而控制空气悬浮微粒浓度。无尘室是排除一定空间内空气中的微粒子、细菌、有害空气等污染物，并将无尘室水的温、湿度，空气洁净等级，室内与相邻功能间的压差，气流在工作面的速度及辐射控制在某一需求范围内，而所给予特别设计的空间。

无尘室的分类：

1、乱流式(TurbulentFlow)： 

   此类适用于1000-100000等级的无尘室。空气由空调箱经风管与无尘车间内的空气过滤器(HEPA)进入无尘室，并由无尘车间两侧隔间墙板或高架地板回风。气流为非直线型运动并呈涡流或不规则之乱流状态。 

   优点：构造简单、建造成本低，对于扩充无尘室比较容易，在一些特殊用途场所可并用无尘工作台，提高无尘车间的等级。 

   缺点：室内空间会飘浮着不易排出的由乱流造成的微尘粒子，产品容易受到污染。如若系统停止运转后再次开启，想达到要求的洁净度，那么需要消耗相当长的时间。

2、层流式(Laminar)： 

   此类适用于对等级需求较高的无尘室环境使用，其等级为Class1~100。相较于乱流式气流，层流式气流运动则是均匀的直线形，空气由覆盖率100%的过滤器进入室内，并由高架地板或两侧隔墙板回风， 

   此型式又可分为2种： 

    1）无尘车间水平层流式：因水平式空气自过滤器单方向吹出，由对边墙壁的回风系统回风，尘埃随风向排出室外，一般下流侧污染较严重。 

   优点：构造简单，运转后短时间内即可稳定。 

   缺点：系统建造成本比乱流式高，扩充室内空间有困难。

    2）无尘车间垂直层流式：完全用ULPA过滤器覆盖房间天花板，为获得较高的洁净度空气由上往下吹，快速排出在生产中或工作人员所产生的尘埃到室外并对其它工作区域不造成影响。 

   优点：易管理，运转开始短时间内即可稳定，不易受作业状态或作业人员所影响。 

   缺点：构造费用较高，弹性运用空间难度大，天花板的吊架十分占空间，维修更换过滤器比较麻烦。

3、复合式(MixedType)：

   复合式顾名思意就是将乱流式和层流式复合并用，为局部提供超洁净空气。

   无尘车间洁净隧道(CleanTunnel)：HEPA或ULPA过滤器可将生产及工作区域100%覆盖使洁净度等级提高至10级以上，节省了安装运转费用。超大规模集成电路生产大都采用此种类型，它需将隔离作业人员的工作区与产品和机器维修，使工作及品质不受机器维修时的影响。

   洁净隧道还有2项优点：弹性扩充较为容易、设备的维修比较轻松。

   无尘车间洁净管道(CleanTube)：包围并净化处理产品流程经过的自动生产线，将洁净度等级提高到100级以上。为节省能源，产品和作业员及发尘环境需相互隔离，以少量的送风得到良好的洁净度，此方式最适合不需人工的自动化生产线使用。药品、食品及半导体都可使用。

   无尘车间并装局部无尘室(CleanSpot)：为生产专用，须将乱流无尘室内的产品生产区的洁净度等级提高到10~1000级以上。