万级无尘车间的洁净度等级在电子制造业里的要求比较高,按实际需要控制风量、温度、湿度、压差以及设备排风,按设计或者规范来控制照度、洁净室截面风速,此外,该类洁净室对静电的要求也比较严格。对湿度的要求显得特别高。由于太干燥的厂房是比较容易产生静电的,这会造成CMOS集成的损坏。按常理,电子厂房的温度差不多控制在23℃上下,相对湿度控制在50-60%,方可有效地消除静电,并使人能感觉到舒适。电子制造行业洁净室的重要组成部分有:芯片生产车间、集成电路无尘室和磁盘制造车间,对室内空气环境和品质的要求严格体现在电子产品的制造与生产过程中,微粒和浮尘为是主要的控制对象,同时还对其环境的温度、湿度、新鲜空气量及噪声等作出了较为严格的规定。福建永科带大家了解一下:
1、万级电子无尘车间参数要求换气的次数:100000级15次以上;10000级20次以上;100030次以上;100500次以上;
2、压差:主车间对相邻房间在5Pa以上;
3、平均风速:10级、100级0.3-0.5m/s;
4、温度:冬季16℃以上;夏季不高于26℃;波动可接受±2℃;
5、湿度:45-65%;GMP粉剂车间湿度在50%左右为宜;电子车间湿度略高以免产生静电;
6、噪声:不大于65dB(A);
7、照度:290LX左右;
8、新风补充量是总送风量的30%。
万级净化主要是靠洁净的气流不间断的稀释室内的空气,逐渐将室内的污染排出,洁净效果就能实现。室内的气流是拌有回流或涡流且以不均匀的速度呈不平行流动,不同等级的净化车间靠的是单位时间内所送风量的不同来实现的。